Для цитирования:
Бондарев В.А. Расчет диффузии примесей в кремнии. Энергетика. Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. 2004;(4):45-51. https://doi.org/10.21122/1029-7448-2004-0-4-45-51
For citation:
Bondarev V.А. Calculation of Impurity Diffusion in Siiicon. ENERGETIKA. Proceedings of CIS higher education institutions and power engineering associations. 2004;(4):45-51. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/1029-7448-2004-0-4-45-51