Для цитирования:

Бондарев В.А. РАСЧЕТЫ ДВОЙНОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЙ ДИФФУЗИИ ПРИМЕСЕЙ В ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. Энергетика. Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. 2005;(1):84-88.

For citation:

Bondarev V.A. CALCULATIONS OF DOUBLE IMPURITY DIFFUSION IN INTEGRATED CIRCUIT PRODUCTION. ENERGETIKA. Proceedings of CIS higher education institutions and power engineering associations. 2005;(1):84-88. (In Russ.)