Для цитирования:

Бондарев В.А. Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике. Энергетика. Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. 2006;(2):68-73.

For citation:

Bondarev V.A. Mathematical Model of Silicon Oxidation in Microelectronics. ENERGETIKA. Proceedings of CIS higher education institutions and power engineering associations. 2006;(2):68-73. (In Russ.)