Preview

Энергетика. Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ

Расширенный поиск

РАСЧЕТЫ ДВОЙНОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЙ ДИФФУЗИИ ПРИМЕСЕЙ В ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Аннотация

Приводятся аналитические формулы для расчета одновременной диффузии двух примесей в кремнии, основанные на аналитических решениях уравнения диффузии, впервые полученных автором с использованием специальных математических функций. В отличие от обычных формальных математических подходов новые функции определены с помощью исследования реальных физических моделей. Алгоритмы включают некоторые важные соотношения из термодинамики необратимых процессов, а также вариационные термодинамические функционалы, ранее полученные автором для процессов переноса. Расчеты значительно сокращают время, необходимое для разработки новых интегральных схем.

Об авторе

В. А. Бондарев
Белорусский национальный технический университет
Беларусь
Кандидат технических наук


Список литературы

1. Бондарев В. А. Расчет диффузии примесей в кремнии // Энергетика… (Изв. высш. учеб. заведений и энерг. объединений СНГ). – 2004. – № 4.

2. МОП–СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов. – М.: Радио и связь, 1988.

3. Ssuprem 4. Компьютерная программа для моделирования диффузионных технологий. Компания Silvaco International.

4. Технология СБИС. – М.: Мир, 1986.

5. Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. – М.: Наука, 1964.

6. Бондарев В. А. Вариационная формулировка задачи нестационарной теплопроводности // ИФЖ. – 1992. – Т. 62, № 1.

7. Bondarev V. A. Variational method for solving non-linear problems of unsteady-state heat conduction // Int. J. Heat Mass Transfer. – Vol. 40, № 14. – Pergamon, Oxford, 1997.

8. Бубенников А. Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем. – М.: Высш. шк., 1989.

9. Antoncik E. On Anomalous Behaviour of Dopant Diffusion Coefficients at Very High Concentration // J. Electrochem. Soc. – Vol. 144, №. 7. – July, 1997.


Рецензия

Для цитирования:


Бондарев В.А. РАСЧЕТЫ ДВОЙНОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЙ ДИФФУЗИИ ПРИМЕСЕЙ В ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ. Энергетика. Известия высших учебных заведений и энергетических объединений СНГ. 2005;(1):84-88.

For citation:


Bondarev V.A. CALCULATIONS OF DOUBLE IMPURITY DIFFUSION IN INTEGRATED CIRCUIT PRODUCTION. ENERGETIKA. Proceedings of CIS higher education institutions and power engineering associations. 2005;(1):84-88. (In Russ.)

Просмотров: 494


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1029-7448 (Print)
ISSN 2414-0341 (Online)